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价格接近30亿ASML下一代EUV光刻机年底问世

半导体工艺进入7nm节点后,EUV光刻机是必不可少的关键设备。目前只有ASML可以制造,单颗售价10亿元。今年年底将迎来下一代EUV光刻机,价格也将大幅上涨。价格接近30亿ASML下一代EUV光刻机年底问世

据ASML公司高层近日透露的消息,NA=0.55的EUV光刻机将于今年年底出货首台商用样机,2025年正式量产。

他并没有公布哪家公司将推出NA=0.55的光刻机,但此前英特尔公司表示他们将率先使用下一代EUV光刻机,并且已经提前投入巨资。

从2025年的出货时间来看,台积电、英特尔、三星的2nm级工艺都赶不上。 NA=0.55的光刻机最快1.4nm制程就会面世,未来1nm制程的量产必不可少。的装置。

伴随着技术的提升,还有售价。由于复杂和精密,NA=0.55的EUV光刻机价格大幅上涨。现在2-3次。

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